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聚焦|2021廣州陶瓷展咸陽院非氧化物所介紹

放大字體  縮小字體 發布日期:2021-7-28  瀏覽次數:262

     咸陽陶瓷研究設計院有限公司非氧化物研究所主要從事碳化硅陶瓷、C/C及C/SiC陶瓷基復合材料的制備科學與新工藝研究。

一、主要研究方向:

    集成電路制造裝超精密碳化硅陶瓷零部件

    光學系統用碳化硅陶瓷反射鏡

    高溫主動冷卻用定向直孔發汗陶瓷

    防彈梯度碳化硅陶瓷裝甲

    高溫耐燒蝕C/C及C/SiC陶瓷基復合材料抗氧化涂層

二、材料制備工藝研究

  大尺寸、復雜形狀陶近凈尺寸凝膠注模成型制備技術

    特種陶瓷3D打印制備技術

    水基冷凍澆注成型技術

    室溫冷凝成型技術

    C/C及C/SiC復合材料PIP-CVI、RMI制備技術

    大面積、高致密、低缺陷SiC膜層CVD制備技術

    本單位生產碳化硅陶瓷手臂,碳化硅陶瓷托盤、碳化硅真空吸盤等高精密部件,用于IC制造行業的硅片傳輸及關鍵制程用晶圓的承載,為IC制造業提供技術支撐。

     碳化硅陶瓷材料具有低膨脹、高導熱,高彈性模量等特點,本單位生產的真空吸盤采用中空、不對稱薄板結構設計,產品具有高穩定性、高輕量化及極低的晶圓接觸面積等特點;多孔吸盤可調整孔隙結構及孔隙率滿足不同工藝要求,產品具有良好的耐化學腐蝕性,目前真空吸盤及多孔吸盤已經應用于IC制造行業的各個環節。

 


 
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